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洲凯晶纯® UHP 316L VV
生产符合SEMI F20的超纯UHP 316L VV
生产工艺路线： 美国康萨克真空感应炉VIM，德国ALD 真空自耗炉VAR，美国康萨克电渣重熔炉ESR 。 用以上特种冶炼设备熔炼。确保生产出高纯净的超纯UHP 316L 并且符合SEMI F20 国际标准 。最大程度去除杂质和气体。其硫(S)，磷(P)和锰(Mn)含量极低，不仅纯净度最高，而且专门防止了焊接时产生有害的“锰烟”，是半导体设备中直接处于高敏感环境部件的首选。
工艺反应腔室（Process Chambers）
包括CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）、刻蚀设备的腔体。由于焊接时锰烟会污染腔室环境，这类设备通常直接采用低锰的超纯UHP 316L VV 板材加工成型，从源头杜绝污染。
超高纯气体/化学品输送系统
（UHP Fluid Delivery Systems）
包含隔膜阀、调压阀、接头、VMB（阀门 Manifold箱）和气柜等。为满足耐腐蚀和低颗粒要求，其与工艺介质接触的部件（如阀体）多采用超纯UHP 316L VV并经过电解抛光（EP）处理。
关键真空部件与管道
如超高真空腔室、传输管道和内衬。为防止脱气或微小泄漏，需要使用夹杂物极少、完全无漏率的超纯UHP 316L VV EP无缝管。
洲凯晶纯® UHP316L VV 在半导体行业中的使用
